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單軸微調平台

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    TTK-XXY對位

    平台大小(mm)250 x 250 x 61最大行程(mm):4螺桿導程(mm):2 動負荷(kg):20
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    TTK-UVW對位平台

    平台大小(mm)200 x 200 x 61最大行程(mm):&4螺桿導程(mm):2 動負荷(kg):20
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    TTK-XXY對位平台

    平台大小(mm)150 x 150 x 61最大行程(mm):4螺桿導程(mm):2 動負荷(kg):20
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    台灣光技-XXY對位平台

    可搭配CCD視覺對位
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    CCD對位平台

    高精密XXY對位平台
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    精密模組平台

    XXY對位平台
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    XYθ對位平台

    特殊檯面大小
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    精密XXY平台

    平台大小(mm):650 x 650 最大行程(mm):10 螺桿導程(mm):2 反覆定位精度:E級 (10μm)H級 (6μm)P級 (2μm)
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    精密對位平台

    平台大小(mm):550 x 550 最大行程(mm):10 螺桿導程(mm):2 反覆定位精度:E級 (10μm) H級 (6μm) P級 (2μm)
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    UVW對位平台

    平台大小(mm):450 x 450 最大行程(mm):10 螺桿導程(mm):2 反覆定位精度:E級 (10μm) H級 (6μm) P級 (2μm)

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