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廢氣處理設備
KT1000FA設備採電熱水洗式設計，比一般瓦斯燃燒式機種節省耗材成 本，也不會有燃燒後產生二氧化碳的問題。其均溫性佳，處理效率較 高，台灣兩大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過1,100台。K
#電熱式#廢氣處理#Scrubber#水洗式#NF3#SiH4#PH3
KT1000FA設備採電熱水洗式設計，比一般瓦斯燃燒式機種節省耗材成
本，也不會有燃燒後產生二氧化碳的問題。其均溫性佳，處理效率較
高，台灣兩大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過1,100台。KT1000FA
堅固耐用且安全，第一部售出的機台已逾八年，至今仍未除役，深受
客戶肯定。
適合處理: Deposition gas
SiH4, SiH2Cl2, WF6, NH3, PH3, SiCl4, TEOS, Si2H6, TDMAT, GeH4, 3MS, 4MS etc.
適合處理: Cleaning gas:
NF3
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台灣康肯
公司位置：新竹市-東區
統一編號：29048242
VOC觸媒燃燒式瓦斯燃燒式活性碳溶劑回收式半導體廢氣處理Scrubber
https://078901025.tw66.com.tw/web/NMD?postId=1161321液位計
各式工業用、食品級工廠用、流量計、液位計、隔膜式壓力表、及控制閥等。
台灣康肯產品
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電漿式高溫處理設備
KPL為電漿式(Plasma)高溫處理設備,最高溫度1300℃,可處理 CF4,SF6,CHF3,C2F6,NF3,SiH4,TEOS,N2O,SiH2Cl2,NH3,F2,B2H6,WF6,C3F -
小型
小型VOCs處理設備,體積小安全性高, 電熱式,自家設計獨特加熱器,用電量低 環保性加,適合安裝在屋內處理,觸媒燃 燒式或直接燃燒式兩種型態皆有 -
VOC瓦斯或電熱燃燒式
專門處理VOC （揮發性有機化合物） 一般作為清洗劑溶劑使用之苯、 甲苯、 二氯甲烷，廣泛應用於 -
VOC觸媒燃燒式
專門處理VOC （揮發性有機化合物） 一般作為清洗劑溶劑使用之苯、 甲苯、 二氯甲烷，廣泛應用於工業中。但是釋 放